水木社区 mainpage:氧化薄膜的成分测定

来源：百度文库 编辑：查人人中国名人网 时间：2024/04/28 02:41:53
对于光滑的钢基底表面因某种原因（比如，加热，氧化）而萌生的很薄的氧化膜，可以用什么分析测试方法（除了小角度XRD）来确定氧化物的成分？
厚度小于5um，应该是纳米或亚微米级的吧

如果薄膜厚度大于5μm，可用电子探针分析χ，比较方便快捷。

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